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硅基光电集成(硅光子)具有超高速、低功耗、低时延的优势;无需过分追求工艺尺寸的缩小。硅光产业今年市场规模将突破28亿美元,未来可达数百亿美元。 近日,第九届国际第三代半导体论坛(IFWS)应用于探测器,L波段探测率超过商用锗探测器2-3倍。 12英寸平台的GeSn LED器件方面,实现高质量CVD外延法6英寸GeSn生长突破,实现直接带隙GeSn薄膜;与美国应用材料公司合作,实现12英寸硅衬底Ge/GeSn MQW单晶薄膜生长。8英寸 GeOI平台的GeSn垂直腔面光源器件方面,设计并制备了绝
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